顕微鏡搭載型光ヘテロダイン変位計
(HVM-４０0) (HVM-250)
光ヘテロダイン変位計の１プローブ１出射型のプローブを顕微鏡鏡筒上部に設置し、
顕微鏡による観察と同時に変位量を測定します。
＜＜ 特徴 ＞＞
その１ 被測定物の測定点をピンポイント
その２ 被測定物状態観察と並行計測できる
＜＜ 構成 ＞＞
顕微鏡鏡筒上部に光ヘテロダイン変位計のプローブが取りつけられ、顕微鏡鏡筒内をレーザ光が直進し、対物レンズ直下の被測定物からの反射光を再びプローブで検出する構成です。図４にその構成図を示します。
落射照明系、ＣＣＤカメラを取りつけ通常の顕微鏡として被測定物を視認すると共にＣＣＤカメラを用い、ディスプレイ（ＣＲＴ）上で被測定面状態を観測できます。被測定物はステージの上に置かれています。ステージ上に様々な装置を取り付けることもできます。
図1の構成概略図で示しますように、顕微鏡部は上部からヘテロダイン変位計プローブ、調整用ステージ、アダプタ、接眼レンズ部、ＣＣＤ分岐部、落射照明系部、対物レンズ部、ステージ部、台座となります。ヘテロダイン変位計のプローブは１プローブ１出射型を標準として用います。基準面はプローブ内にあります。（２プローブタイプも可です）。ＣＣＤカメラはＣＣＤ分岐部に、落射照明系用電源は落射照明系部に取り付いています。ステージに自動ステージを取り付けることで、自動化することもできます。被測定物の散乱反射状態より対物レンズのＮＡ（倍率）を決めて下さい。
図1 顕微鏡搭載型ヘテロダイン変位計構成概略図
＜＜ 仕様 ＞＞
ヘテロダイン変位計の仕様が基本的に適用されます。プローブの選択も３つのタイプから選択できます。
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ＨＶＭ４００−Ａ |
ＨＶＭ４０００−Ｍ |
ＨＶＭ２５０−Ａ |
ＨＶＭ２５０−Ａ |
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変位計 |
ＨＶ４００ |
同左 |
ＨＶ２５０ |
同左 |
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プローブ |
２タイプより選択（１プローブ１出射型を推奨） |
同左 |
１プローブ１出射型 |
同左 |
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金属管 |
２ｍ（４ｍ程度まで変更可能です） |
同左 |
同左 |
同左 |
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顕微鏡部 |
落射照明系、ＣＣＤカメラも設置 |
同左 |
同左 |
同左 |
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試料台ステージ |
自動ステージ |
手動ステージ |
自動ステージ |
手動ステージ |
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付属装置 |
ＣＣＤカメラコントローラ、ディスプレイ、自動ステージコントローラ、落射照明用電源 |
ＣＣＤカメラコントローラ、ディスプレイ、落射照明用電源 |
ＣＣＤカメラコントローラ、ディスプレイ、自動ステージコントローラ、落射照明用電源 |
ＣＣＤカメラコントローラ、ディスプレイ、落射照明用電源 |
＜＜ 顕微鏡搭載型の応用例 ＞＞
◇ 微少形状物の変位量分布測定−顕微鏡により焦点位置ではビーム径は３〜１００μｍとなり、横分解能も高くすることができます。
◇ 面粗さ・うねり分布測定−ステージとの組み合わせにより自動化も可能
◇ 全体像と微少部分の変動の関連性・相関測定−不均一振動体のエネルギー分布など
◇ 全体像の観察と測定の同時進行
＜＜ 外観写真 ＞＞
光ヘテロダイン変位計本体と顕微鏡部に分かれます。顕微鏡部の上部には変位計のプローブが搭載されています。プローブの下方に調整用ステージ、アダプタ、鏡筒本体、接眼部、ＣＣＤ分岐部、落射照明部、対物レンズ部、ステージ（写真では自動ステージ）、台座となります。光ヘテロダイン変位計本体部と顕微鏡部のプローブ部が金属管（光ファイバーが収納されています）で結ばれています。顕微鏡の種類などユーザの要求に応えます。
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ＨＶ２５０を用いた顕微鏡搭載型ヘテロダイン変位計は、次の点でＨＶＭ４００と異なります。
（１）分解能、応答速度、応答周波数
（２）リアルモードのみの観測
構成に関しては全く同じです。相違点に関する特性はＨＶ−２５０のページをご覧下さい。＜ＨＶ２５０＞のページ。
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