プローブの選択

相対計測する際の被測定面の配置など、計測用途に合わせてプローブを選択してください。

相対計測用の光ヘテロダイン変位計のプローブとして次の３種類があります。また、形状等は設計により変えられます。
１プローブ１出射型
１プローブ２出射型
２プローブ２出射型

プローブの数と出射光量の数により用途が異なります。目的・用途・被対象物位置・角度など、測定対象の状況を考慮して、それぞれの目的に合ったプローブ形式をお選びください。なお、変位計本体は１プローブ用と２プローブ用があります。

＜＜本体とプローブの関係＞＞
本体とプローブは次のような関係で使用できます。


 １プローブ用変位計本体
 ２プローブ用変位計本体
１プローブ１出射型 　　　　　　○ 　　　　　　×
１プローブ２出射型 　　　　　　○ 　　　　　　×
２プローブ２出射型 　　　　　　× 　　　　　　○

○　；　組み合わせ使用できます。１プローブ変位計本体が１台あれば、１プローブ１出射型と１プローブ２出射型の２つのプローブを利用できます。
×　；　組み合わせ使用できません。

＜＜　各プローブの構成と特徴　＞＞
１プローブ１出射型

１プローブからは１本の出射光があります。この出射光を被測定面に入射させ、反射光を再びプローブで検出します。この反射光が信号光となります。相対計測する為に必要な参照光はプローブから外部に出射されません。参照光はプローブ内部に置かれた参照面からの反射光を用います。従いまして、被測定物とプローブが同時に移動・振動するような構成においては、その移動・振動分が打ち消されます。出射光が１本のゆえに、簡便に測定できます。また顕微鏡搭載型には顕微鏡が剛体の為、顕微鏡全体が移動・振動しても相対計測ができます。

１プローブ２出射型

１プローブから２本の出射光があります。相対計測のために必要な２本のレーザ光が一つのプローブから出射される構造です。上図のように、各出射光は異なる被測定面（被測定面１、及び２）から独立に反射光を得ます。この反射光は再び出射光位置に戻り、信号光１及び２となります。
ただし、２本の出射光間隔は干渉系の構造より、大きく離すことはできません。非常に近接した２点の相対変動を測定する際には支持台を簡便にできます。出射光間隔を広げたい場合は２プローブ２出射型をご利用ください。
２本のレーザ間隔・角度などは設計により変えることが出来ます。

２プローブ２出射型

２つのプローブからなり、各プローブから１本の測定光が出射されます。２つのプローブは独立に動かすことができますので、独立な２つの被測定面（被測定面１及び２）に独立に入射します。各被測定面からの反射光は、各プローブで受光します。
相対計測されるべき２つの被測定面を任意に選べます。被測定面間距離、角度など問題となる対象を選択することができます。
”光で物理量を高精度に計測”

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