定盤上にステージで光学系を組んでいるが問題か？

高精度計測することに主眼があるならば、やめた方が無難です。
市販のステージは大きく、光学系を組むことになれば、１ｍ×１ｍ程度のスペースを割いてしまいます。これは光の側から見れば、長い距離を伝播しなければなりません。ノイズは伝播する長さに比例すると考えても差し支えありません。ステージなどをＳＵＳやインバーで構成しているから大丈夫、の発想も間違いです。
定盤上で組むことは、見学者には判り易く、説明しやすく、如何にも測定しているのだとの雰囲気を与えますが、それ以上の効果はありません。
高精度計測は、如何にノイズを削減するか、ノイズ発生源を削減するか、が大問題です。密閉できるような環境で、温度制御もでき、人の動きもなく、床からの振動も押さえられ、近くに工場のないことが望まれます。かなり理想とも思える状況が高精度計測には必要です。