試料が小さくても可能か？

顕微鏡搭載型では、試料の直前に対物レンズがありますので、１０μｍ程度のビーム径です。回折限界近くまで絞ることは可能です。したがって、試料が小さくても問題はありません。ただ、肉眼でビーム位置を認識することは不可能なので、ＣＣＤカメラをお使いください。

顕微鏡搭載型ではなく、ＣＣＴＶレンズを用いた場合でも１００μｍ径程度には絞り込むことができますので、問題なく測定できます。

ビーム径（Ｇ）が有限の大きさであることと、測定値Ｍの関係は、測定値が面内分布をしている場合Ｆ（ｘ，ｙ）、ガウシアンビームで重み付け平均の形で与えられます。つまり

ビーム径が小さいほど、面内分布を詳細に知ることができますが、試料表面の凹凸も考慮しなければなりません。
レンズ系を用いた場合には、焦点深度内での変位のみが測定対象になります。レンズ系の焦点深度（カタログ値）に注意してください。