周波数安定化ＨｅＮｅレーザの特性データ（例）

（１）光パワー、直線偏光度
　　　　　直線偏光光　　　　　　　１．４２ｍＷ
　　　　　直線偏光度（消光比）　　３０．２ｄＢ　　　
　　　　　　　測定装置等
　　　　　　　　　アンリツ製光パワーメータ（ＭＬ９１０Ｂ）にて測定
　　　　　　　　　グラントムソンプリズム（５０ｄＢ以上）により分離
（２）周波数安定度（Δｆ／ｆ）
　　　　　　３σ値＝±１．２３×１０−９
　　　　　　測定装置等　
　　　　　　　　　　ＨＰ製ＨｅＮｅレーザ（５５２６Ａ）と合波した後、ＡＰＤ（Ｓ２３８１；浜松ホトニクス製）にて検出し、増幅（８４４７Ｄ；ＨＰ製）し、周波数カウンター（５３３５Ａ；ＨＰ製）にて計測、ＨＰコンピュータにて連続データ取得
（３）ビーム径・ビーム形状・ビーム拡がり角
　　　　　ＦＳ１Ｍの前方位置、１５ｃｍ・３０ｃｍ・４５ｃｍ・６０ｃｍでのビーム形状等。計測値のビーム径はピーク強度の５０％強度の径を示す。
　　　　　ビーム径　前方１５ｃｍ位置　　径＝０．４３３ｍｍ
　　　　　　　　　　　　３０ｃｍ　　　　　　０．５６２ｍｍ
　　　　　　　　　　　　４５ｃｍ　　　　　　０．７５６ｍｍ
　　　　　　　　　　　　６０ｃｍ　　　　　　０．９１６ｍｍ
　　　　　ビーム拡がり角＝０．５９ｍｒａｄ（最小２乗法による）
　　　　　測定装置等
　　　　　　　　　出射光を減光した後、ビーム形状解析装置にて検出

　　　

　　　　　　　　　　　　　　　　１５ｃｍ前方 　　　　　　ビーム径＝０．４３　ｍｍ　　ガウシアン分布　　円形（ＴＥＭ００）


　　　　　　 　　　　　　　　３０ｃｍ前方　　　　　　ビーム径＝０．５６　ｍｍ　　　ガウシアン分布　　　円形（ＴＥＭ００）
（４）光ノイズ（高圧電源が主たる発生源）
　　　　高周波ノイズ（１／ｆノイズ除く）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　最大値　　−１０９ｄＢｍ　　ａｔ　４３．９ｋＨｚ　　（３０ｄＢアンプ）
　　　　　　　　　　　


　　　　　　　　　　　　　　　　　　測定範囲　　　０〜６０ｋＨｚ　　（６ｋＨｚ／ｄｉｖ）　　Ｒｅｆレベル　−４０ｄＢｍ　（１０ｄＢ／ｄｉｖ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　ノイズレベル　　−１０９．２ｄＢｍ


　　　　　　測定範囲　　　４２〜４４ｋＨｚ　（２００Ｈｚ／ｄｉｖ）　Ｒｅｆレベル　−３０ｄＢｍ　（１０ｄＢ／ｄｉｖ）
　　　　　　ノイズレベル　　−１１３．８ｄＢｍ（ピーク値）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　ノイズレベルの両者の違いは測定時のバンド幅の相違による

　　　測定装置等
　　　　　出射光をＡＰＤＳ２３８１；浜松ホトニクス製）で受光し、ＨＰ製３０ｄＢアンプにより増幅した後スペクトルアナライザ（ＴＲ４１７１；アドバンテスト製）で解析
（５）連続動作
　低温環境下での連続運転（１０℃以下４８時間）　正常動作

　　　　　　光で物理量を高精度に計測

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