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2007/12/06
現在のLSIは露光方式でパターンを焼き付けているが、微細化すると回路パターンが干渉でぼやける。
石英ガラスで型を作り、感光材樹脂に押し付けてパターンを転写する方式を大日本印刷が開発。低コストとなる。
回路幅32ナノが可能。
日経2007/12/12
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