Fe薄膜作製の最適化

• 昨年度まで，作製したFe薄膜の酸化などの問題

• スパッタ装置の電気的改善，諸条件の最適化

  • Ar圧，Ar流量，スパッタ電力など

• スライドガラス上にFe薄膜を作製

• 四探針法を用いた抵抗率測定により評価

抵抗率は以下の式より導出した

d:膜厚

前のｽﾗｲﾄﾞ

次のｽﾗｲﾄﾞ

最初のｽﾗｲﾄﾞに戻る

ｸﾞﾗﾌｨｯｸｽの表示